金属靶材
金属靶材是现代材料科学和工业应用中不可或缺的重要组成部分,广泛应用于半导体制造、光学涂层、存储设备、能源转换和装饰材料等多个领域。作为溅射镀膜技术的核心材料,金属靶材通过物理气相沉积(PVD)工艺,能够在基材表面形成高质量的薄膜,赋予产品优异的性能和功能特性。
金属靶材的种类丰富,涵盖铝、钛、铜、钨、钼等多种金属元素。高纯度是金属靶材的重要特性,其纯度通常达到 99.9% 以上,甚至在某些高端应用中可达 99.999%(5N)或更高。这种高纯度能够确保薄膜的化学稳定性、电导性能和光学特性,同时降低制造过程中的杂质污染。
在半导体制造中,金属靶材用于形成精密导电层和屏蔽层,是晶圆制造过程中不可替代的关键材料。而在光学领域,金属靶材可用于制作高反射率或抗反射涂层,提升镜头、屏幕等光学设备的性能。此外,随着新能源技术的发展,金属靶材在太阳能电池、燃料电池等领域的应用也日益增长,为绿色能源的推广提供了重要支持。
金属靶材的性能不仅依赖于材料本身,还受到加工工艺的影响。通过精密加工和先进的烧结、热处理工艺,可实现靶材的致密化、均匀化以及尺寸定制,满足不同领域的特殊需求。未来,随着技术的进步和产业的升级,金属靶材将在更多前沿领域中发挥更大的作用,为科技创新和产业发展注入强大动力。
金属靶材产品列表:
| 名称 | 化学式 | 纯度 |
| 银靶材 | Ag | 2N-5N |
| 铝靶材 | Al | 2N-6N5 |
| 砷靶材 | As | 3N-7N5 |
| 金靶材 | Au | 3N-5N |
| 硼靶材 | B | 2N-5N |
| 钡靶材 | Ba | 2N-5N |
| 铍靶材 | Be | 2N-5N |
| 铋靶材 | Bi | 2N-6N |
| 石墨靶材 | C | 2N-5N |
| 钙靶材 | Ca | 2N-5N |
| 镉靶材 | Cd | 2N-8N |
| 铈靶材 | Ce | 2N-5N |
| 钴靶材 | Co | 2N-5N |
| 铬靶材 | Cr | 2N-5N |
| 铜靶材 | Cu | 2N-6N |
| 镝靶材 | Dy | 2N-5N |
| 铒靶材 | Er | 2N-5N |
| 铕靶材 | Eu | 2N-5N |
| 铁靶材 | Fe | 2N-5N |
| 镓靶材 | Ga | 4N-8N |
| 钆靶材 | Gd | 2N-5N |
| 锗靶材 | Ge | 2N-6N |
| 铪靶材 | Hf | 2N-5N |
| 钬靶材 | Ho | 2N-5N |
| 铟靶材 | In | 2N-7N |
| 铱靶材 | Ir | 2N-5N |
| 钾靶材 | K | 2N-5N |
| 镧靶材 | La | 2N-5N |
| 锂靶材 | Li | 2N-5N |
| 镥靶材 | Lu | 2N-5N |
| 镁靶材 | Mg | 2N-5N |
| 锰靶材 | Mn | 2N-5N |
| 钼靶材 | Mo | 2N-5N |
| 铌靶材 | Nb | 2N-5N |
| 钕靶材 | Nd | 2N-5N |
| 镍靶材 | Ni | 2N-5N |
| 锇靶材 | Os | 3N-5N |
| 铅靶材 | Pb | 2N-7N |
| 钯靶材 | Pd | 2N-5N |
| 镨靶材 | Pr | 2N-5N |
| 铂靶材 | Pt | 2N-5N |
| 铼靶材 | Re | 2N-5N |
| 铑靶材 | Rh | 2N-4N |
| 钌靶材 | Ru | 2N-5N |
| 锑靶材 | Sb | 2N-8N |
| 钪靶材 | Sc | 2N-5N |
| 硒靶材 | Se | 2N-6N |
| 硅靶材 | Si | 2N-7N |
| 钐靶材 | Sm | 2N-5N |
| 锡靶材 | Sn | 2N-7N5 |
| 锶靶材 | Sr | 2N-5N |
| 钽靶材 | Ta | 2N-5N |
| 铽靶材 | Tb | 2N-5N |
| 碲靶材 | Te | 2N-7N |
| 钛靶材 | Ti | 2N-5N |
| 铊靶材 | Tl | 2N-5N |
| 铥靶材 | Tm | 2N-5N |
| 钒靶材 | V | 2N-5N |
| 钨靶材 | W | 2N-5N |
| 钇靶材 | Y | 2N-5N |
| 镱靶材 | Yb | 2N-5N |
| 锌靶材 | Zn | 2N-7N5 |
| 锆靶材 | Zr | 2N-5N |