金属靶材
金属靶材是现代材料科学和工业应用中不可或缺的重要组成部分,广泛应用于半导体制造、光学涂层、存储设备、能源转换和装饰材料等多个领域。作为溅射镀膜技术的核心材料,金属靶材通过物理气相沉积(PVD)工艺,能够在基材表面形成高质量的薄膜,赋予产品优异的性能和功能特性。
金属靶材的种类丰富,涵盖铝、钛、铜、钨、钼等多种金属元素。高纯度是金属靶材的重要特性,其纯度通常达到 99.9% 以上,甚至在某些高端应用中可达 99.999%(5N)或更高。这种高纯度能够确保薄膜的化学稳定性、电导性能和光学特性,同时降低制造过程中的杂质污染。
在半导体制造中,金属靶材用于形成精密导电层和屏蔽层,是晶圆制造过程中不可替代的关键材料。而在光学领域,金属靶材可用于制作高反射率或抗反射涂层,提升镜头、屏幕等光学设备的性能。此外,随着新能源技术的发展,金属靶材在太阳能电池、燃料电池等领域的应用也日益增长,为绿色能源的推广提供了重要支持。
金属靶材的性能不仅依赖于材料本身,还受到加工工艺的影响。通过精密加工和先进的烧结、热处理工艺,可实现靶材的致密化、均匀化以及尺寸定制,满足不同领域的特殊需求。未来,随着技术的进步和产业的升级,金属靶材将在更多前沿领域中发挥更大的作用,为科技创新和产业发展注入强大动力。
金属靶材产品列表:
名称 | 化学式 | 纯度 |
银靶材 | Ag | 2N-5N |
铝靶材 | Al | 2N-6N5 |
砷靶材 | As | 3N-7N5 |
金靶材 | Au | 3N-5N |
硼靶材 | B | 2N-5N |
钡靶材 | Ba | 2N-5N |
铍靶材 | Be | 2N-5N |
铋靶材 | Bi | 2N-6N |
石墨靶材 | C | 2N-5N |
钙靶材 | Ca | 2N-5N |
镉靶材 | Cd | 2N-8N |
铈靶材 | Ce | 2N-5N |
钴靶材 | Co | 2N-5N |
铬靶材 | Cr | 2N-5N |
铜靶材 | Cu | 2N-6N |
镝靶材 | Dy | 2N-5N |
铒靶材 | Er | 2N-5N |
铕靶材 | Eu | 2N-5N |
铁靶材 | Fe | 2N-5N |
镓靶材 | Ga | 4N-8N |
钆靶材 | Gd | 2N-5N |
锗靶材 | Ge | 2N-6N |
铪靶材 | Hf | 2N-5N |
钬靶材 | Ho | 2N-5N |
铟靶材 | In | 2N-7N |
铱靶材 | Ir | 2N-5N |
钾靶材 | K | 2N-5N |
镧靶材 | La | 2N-5N |
锂靶材 | Li | 2N-5N |
镥靶材 | Lu | 2N-5N |
镁靶材 | Mg | 2N-5N |
锰靶材 | Mn | 2N-5N |
钼靶材 | Mo | 2N-5N |
铌靶材 | Nb | 2N-5N |
钕靶材 | Nd | 2N-5N |
镍靶材 | Ni | 2N-5N |
锇靶材 | Os | 3N-5N |
铅靶材 | Pb | 2N-7N |
钯靶材 | Pd | 2N-5N |
镨靶材 | Pr | 2N-5N |
铂靶材 | Pt | 2N-5N |
铼靶材 | Re | 2N-5N |
铑靶材 | Rh | 2N-4N |
钌靶材 | Ru | 2N-5N |
锑靶材 | Sb | 2N-8N |
钪靶材 | Sc | 2N-5N |
硒靶材 | Se | 2N-6N |
硅靶材 | Si | 2N-7N |
钐靶材 | Sm | 2N-5N |
锡靶材 | Sn | 2N-7N5 |
锶靶材 | Sr | 2N-5N |
钽靶材 | Ta | 2N-5N |
铽靶材 | Tb | 2N-5N |
碲靶材 | Te | 2N-7N |
钛靶材 | Ti | 2N-5N |
铊靶材 | Tl | 2N-5N |
铥靶材 | Tm | 2N-5N |
钒靶材 | V | 2N-5N |
钨靶材 | W | 2N-5N |
钇靶材 | Y | 2N-5N |
镱靶材 | Yb | 2N-5N |
锌靶材 | Zn | 2N-7N5 |
锆靶材 | Zr | 2N-5N |