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硅化物靶材

       硅化物靶材是一种常用于薄膜沉积的高性能材料,广泛应用于半导体、光电、太阳能及涂层技术等领域。常见的硅化物靶材包括硅化钼(MoSi2)、硅化钨(WSi2)、硅化铝(AlSi2)等。这些靶材在溅射过程中能够形成高质量、均匀的薄膜,满足先进电子设备和光学元件的需求。

       硅化物靶材的主要特点是优异的耐高温性、良好的导电性和热稳定性。这使得它们在高温环境下具有良好的性能,特别是在高功率半导体器件的制造中,它们能够提供稳定的薄膜沉积。硅化物靶材还具有较高的密度和硬度,使其在长时间使用中能保持稳定的形状和尺寸,确保了薄膜的均匀性和品质。

       此外,硅化物靶材的应用还延伸到太阳能电池、传感器、集成电路等领域。在光电器件中,硅化物薄膜有助于提高材料的光电转化效率,增强设备的整体性能。在半导体行业,硅化物靶材被广泛应用于集成电路的制造,特别是在需要高精度和高纯度薄膜的过程中,硅化物靶材成为了不可或缺的关键材料。

       总之,硅化物靶材因其优越的性能和广泛的应用领域,成为了现代电子制造和光电技术中的核心材料,支持着行业技术的不断进步和创新。

 

硅化物靶材产品列表:

名称 化学式 纯度
二硅化铝 AlSi2 3N
硅化钴 Co3Si 2N5
硅化铬 Cr2Si 3N-3N5
二硅化铬 CrSi2 2N5-3N5
硅化镁 Mg2Si 2N5-3N
硅化钼 Mo5Si3 3N-3N5
二硅化钼 MoSi2 2N5-4N
硅化铌 Nb5Si3 3N
二硅化铌 NbSi2 3N
硅化镍 NiSi 2N5-3N
硅化钽 Ta5Si3 3N5
二硅化钽 TaSi2 2N5-3N5
硅化钛 Ti5Si3 2N5
二硅化钛 TiSi2 2N5-3N5
二硅化钒 VSi2 3N
二硅化钨 WSi2 2N5-4N
二硅化锆 ZrSi2 2N5-3N