氮化物靶材
氮化物靶材是一类广泛应用于薄膜沉积工艺中的高性能材料,主要用于制造具有优异耐磨性、耐腐蚀性和热稳定性的涂层。这些靶材通常由氮化物化合物,如氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氮化钛(TiN)等组成,广泛应用于光学、电子、半导体和涂层行业。
氮化物靶材的特点之一是它们具有良好的硬度和抗摩擦性,使其成为制造耐磨薄膜、保护膜和电子封装材料的理想选择。此外,氮化物靶材通常具有良好的电绝缘性能,适合于高频电子器件的应用,能够提供稳定的电气性能,并有效提高元器件的工作寿命。
在半导体行业中,氮化物靶材被用于制造薄膜电阻、电容器和各种元器件,能够有效增强电子器件的可靠性和性能。在光学领域,氮化物靶材也被用于生产抗反射膜、光学滤光片等,为高精度光学设备提供稳定的功能和长期使用寿命。
氮化物靶材的应用范围不断扩展,随着新技术的不断发展,它们在新能源、汽车电子、激光器和高性能涂层等领域中将展现出更广泛的潜力和应用价值。
氮化物靶材产品列表:
名称 | 化学式 | 纯度 |
氮化铝 | AlN | 2N-4N |
氮化硼 | BN | 2N5-4N |
氮化铬 | CrN | 2N5-4N |
氮化镓 | GaN | 3N-4N |
氮化铪 | HfN | 2N5-4N |
氮化铌 | NbN | 2N5-3N5 |
氮化硅 | Si3N4 | 2N5-4N |
氮化钽 | TaN | 2N5-4N |
碳氮化钛 | TiCN | 1N5-4N |
氮化钛 | TiN | 1N8-4N |
氮化钒 | VN | 2N5-3N |
氮化锆 | ZrN | 2N5-4N |