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氮化物靶材

       氮化物靶材是一类广泛应用于薄膜沉积工艺中的高性能材料,主要用于制造具有优异耐磨性、耐腐蚀性和热稳定性的涂层。这些靶材通常由氮化物化合物,如氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氮化钛(TiN)等组成,广泛应用于光学、电子、半导体和涂层行业。

       氮化物靶材的特点之一是它们具有良好的硬度和抗摩擦性,使其成为制造耐磨薄膜、保护膜和电子封装材料的理想选择。此外,氮化物靶材通常具有良好的电绝缘性能,适合于高频电子器件的应用,能够提供稳定的电气性能,并有效提高元器件的工作寿命。

       在半导体行业中,氮化物靶材被用于制造薄膜电阻、电容器和各种元器件,能够有效增强电子器件的可靠性和性能。在光学领域,氮化物靶材也被用于生产抗反射膜、光学滤光片等,为高精度光学设备提供稳定的功能和长期使用寿命。

       氮化物靶材的应用范围不断扩展,随着新技术的不断发展,它们在新能源、汽车电子、激光器和高性能涂层等领域中将展现出更广泛的潜力和应用价值。

 

氮化物靶材产品列表:

名称 化学式 纯度
氮化铝 AlN 2N-4N
氮化硼 BN 2N5-4N
氮化铬 CrN 2N5-4N
氮化镓 GaN 3N-4N
氮化铪 HfN 2N5-4N
氮化铌 NbN 2N5-3N5
氮化硅 Si3N4 2N5-4N
氮化钽 TaN 2N5-4N
碳氮化钛 TiCN 1N5-4N
氮化钛 TiN 1N8-4N
氮化钒 VN 2N5-3N
氮化锆 ZrN 2N5-4N