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碳化物靶材

       碳化物靶材是一类重要的溅射靶材,以其卓越的物理、化学性能和广泛的应用领域而受到关注。主要由金属或类金属与碳形成的化合物构成,如碳化钛(TiC)、碳化锆(ZrC)、碳化铪(HfC)、碳化硅(SiC)和碳化钨(WC)等。这些材料通常具有超高的硬度、优异的耐磨性、出色的耐腐蚀性、耐高温稳定性以及良好的导电性和导热性,使其成为高性能薄膜沉积、功能涂层和电子元件制造的理想选择。

       在半导体与电子产业中,碳化物靶材被广泛用于硬质涂层、绝缘层、导电层的制备,特别是在微电子器件、功率电子器件和先进存储技术中发挥重要作用。例如,碳化硅(SiC)靶材凭借其优异的高温稳定性和宽禁带特性,被用于制造高功率、高频电子器件。此外,碳化钨(WC)和碳化钛(TiC)因其超强耐磨性,在精密工具、刀具、模具表面镀膜中广受欢迎,能大幅提高使用寿命和耐磨性能。

       在航空航天和新能源领域,碳化物靶材同样至关重要。例如,碳化铪(HfC)和碳化锆(ZrC)因其极高的熔点(超过3500°C),被广泛用于超高温环境的涂层材料,如火箭喷嘴、超音速飞行器耐热防护层等。此外,碳化硅(SiC)在太阳能电池、LED、光伏产业和电动汽车领域也有重要应用,有助于提高器件的能效和耐用性。

       我们提供高纯度、高密度的碳化物靶材,并可根据客户需求定制不同规格、尺寸、纯度和制造工艺,以满足在电子、工业制造、航空航天、新能源及科研等多个领域的多样化需求。

 

碳化物靶材产品列表:

名称 化学式 纯度
碳化硼 B4C 2N-5N
碳化铬 Cr3C2 2N5-3N5
碳化铁 Fe3C 2N-5N
碳钢 FeC 1N85
碳化铪 HfC 2N-4N
碳化钼 Mo2C 2N-5N
碳化铌 NbC 2N5
碳化镍 NiC 3N
碳化硅 SiC 2N-5N
碳化钽 TaC 2N5-4N
碳化钛 TiC 2N-5N
碳氮化钛 TiCN 1N5-4N
碳化钒 VC 2N5-3N
碳化钨 WC 2N5-4N
碳化锆 ZrC 2N5-4N