首页    溅射靶材    硼化物靶材
boridetargets

硼化物靶材

       硼化物靶材是一类高性能功能材料,广泛应用于半导体制造、光学镀膜、耐磨涂层、航空航天、电子器件以及新能源等领域。常见的硼化物靶材包括二硼化钛(TiB₂)、二硼化锆(ZrB₂)、二硼化铪(HfB₂)、二硼化镁(MgB₂)等,它们具有优异的理化特性,如高熔点、高硬度、耐腐蚀性和良好的导电、导热性能,使其在极端环境下仍能保持稳定的性能。

       在半导体和微电子行业,硼化物靶材用于制备功能性薄膜,例如低电阻率的金属硼化物薄膜,可作为电极材料或阻挡层,提高芯片性能并延长器件寿命。在航空航天和军事领域,硼化物材料因其极高的硬度和耐磨损性,被应用于涂层技术,增强零部件的耐用性和抗氧化能力。此外,硼化物靶材还在新能源领域发挥重要作用,如二硼化镁(MgB₂)因其超导特性,在高温超导材料研究中备受关注。

       硼化物靶材主要采用物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)工艺进行薄膜沉积,其高纯度和高密度确保了高效的溅射性能,能够满足先进制造和精密工业的严格要求。随着科技的进步和新材料研究的深入,硼化物靶材的应用范围正在不断拓展,为多个高科技产业提供强有力的材料支持。

 

硼化物靶材产品列表:

名称 化学式 纯度
二硼化铝 AlB2 2N5-4N
二硼化铬 Cr2B 3N
五硼化铬 Cr5B3 3N
硼化铬 CrB 3N
二硼化铬 CrB2 2N5-4N
六硼化铕 EuB6 4N
硼化铁 FeB 3N
二硼化铪 HfB2 2N5-4N
六硼化镧 LaB6 2N5-4N
二硼化镁 MgB2 2N5-3N5
二钼化硼 Mo2B 3N
五硼化二钼 Mo2B5 3N
二硼化钼 MoB2 2N5
六硼化硅 SiB6 3N-4N
二硼化钽 TaB2 3N
二硼化钛 TiB2 2N5-4N
二硼化钒 VB2 2N5
硼化钨 WB 3N
二硼化钨 WB2 3N
二硼化锆 ZrB2 2N5-4N