硼化物靶材
硼化物靶材是一类高性能功能材料,广泛应用于半导体制造、光学镀膜、耐磨涂层、航空航天、电子器件以及新能源等领域。常见的硼化物靶材包括二硼化钛(TiB₂)、二硼化锆(ZrB₂)、二硼化铪(HfB₂)、二硼化镁(MgB₂)等,它们具有优异的理化特性,如高熔点、高硬度、耐腐蚀性和良好的导电、导热性能,使其在极端环境下仍能保持稳定的性能。
在半导体和微电子行业,硼化物靶材用于制备功能性薄膜,例如低电阻率的金属硼化物薄膜,可作为电极材料或阻挡层,提高芯片性能并延长器件寿命。在航空航天和军事领域,硼化物材料因其极高的硬度和耐磨损性,被应用于涂层技术,增强零部件的耐用性和抗氧化能力。此外,硼化物靶材还在新能源领域发挥重要作用,如二硼化镁(MgB₂)因其超导特性,在高温超导材料研究中备受关注。
硼化物靶材主要采用物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)工艺进行薄膜沉积,其高纯度和高密度确保了高效的溅射性能,能够满足先进制造和精密工业的严格要求。随着科技的进步和新材料研究的深入,硼化物靶材的应用范围正在不断拓展,为多个高科技产业提供强有力的材料支持。
硼化物靶材产品列表:
名称 | 化学式 | 纯度 |
二硼化铝 | AlB2 | 2N5-4N |
二硼化铬 | Cr2B | 3N |
五硼化铬 | Cr5B3 | 3N |
硼化铬 | CrB | 3N |
二硼化铬 | CrB2 | 2N5-4N |
六硼化铕 | EuB6 | 4N |
硼化铁 | FeB | 3N |
二硼化铪 | HfB2 | 2N5-4N |
六硼化镧 | LaB6 | 2N5-4N |
二硼化镁 | MgB2 | 2N5-3N5 |
二钼化硼 | Mo2B | 3N |
五硼化二钼 | Mo2B5 | 3N |
二硼化钼 | MoB2 | 2N5 |
六硼化硅 | SiB6 | 3N-4N |
二硼化钽 | TaB2 | 3N |
二硼化钛 | TiB2 | 2N5-4N |
二硼化钒 | VB2 | 2N5 |
硼化钨 | WB | 3N |
二硼化钨 | WB2 | 3N |
二硼化锆 | ZrB2 | 2N5-4N |