氧化物靶材
氧化物靶材是一类性能优异的溅射镀膜材料,广泛应用于半导体、光电子、光学镀膜、显示技术、新能源及传感器等高科技领域。其主要成分是金属氧化物,常见种类包括氧化铝(Al₂O₃)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡(ITO)、氧化镓(Ga₂O₃)、氧化钛(TiO₂)等。这些材料因其卓越的光学、电学及化学稳定性,在薄膜制备和微电子器件制造中具有不可替代的作用。
氧化物靶材通常采用高纯度原材料,通过先进的陶瓷烧结或等离子喷涂工艺制备,以确保其高密度、低孔隙率和均匀的微观结构,从而提升溅射镀膜过程中的稳定性和膜层质量。特别是在磁控溅射、电子束蒸发、脉冲激光沉积(PLD)等物理气相沉积(PVD)技术中,氧化物靶材可实现高效的薄膜沉积,形成具有良好导电性、透明性或高折射率的功能薄膜,广泛应用于触控屏、太阳能电池、智能玻璃、光学滤波器、高速电子器件等领域。
根据不同的应用需求,氧化物靶材可提供多种规格、形状及纯度选择,包括圆形、矩形、环形等不同尺寸,纯度可达99%-99.999%。同时,还可根据客户需求定制特定配方,如掺杂或复合氧化物靶材,以优化薄膜性能。高品质的氧化物靶材能够确保溅射过程中稳定的沉积速率,提高膜层均匀性,并提升器件的整体性能和使用寿命。
氧化物靶材产品列表:
名称 | 化学式 | 纯度 |
氧化银 | Ag2O | 2N-5N |
氧化铝 | Al2O3 | 2N-5N |
氧化砷 | As2O3 | 3N-5N |
氧化锡锑 | ATO | 3N-4N |
氧化金 | Au2O3 | 3N-5N |
氧化锌铝 | AZO | 3N-4N |
氧化硼 | B2O3 | 2N-5N |
铁酸钡 | BaFe12O19 | 3N-4N |
铌酸钡 | BaNb2O6 | 3N5-5N |
氧化钡 | BaO | 3N-5N |
钛酸钡 | BaTiO3 | 2N-4N |
锆酸钡 | BaZrO3 | 3N-3N5 |
氧化铍 | BeO | 3N-5N |
硒氧化铋 | Bi2O2Se | 3N |
氧化铋 | Bi2O3 | 3N-5N |
铋铁石榴石 | Bi3Fe5O12 / BiIG | 4N |
钛酸铋 | Bi4Ti3O12 | 3N |
铁酸铋 | BiFeO3 | 3N-4N |
钛酸锶钡 | BST / BaSrTiO3 | 2N-5N |
锰酸钙 | CaMnO3 | 3N |
氧化钙 | CaO | 2N-5N |
钛酸钙 | CaTiO3 | 3N |
锆酸钙 | CaZrO3 | 2N-5N |
氧化镉 | CdO | 2N-5N |
氧化铈 | CeO2 | 2N-5N |
三氧化二钴 | Co2O3 | 3N-4N |
四氧化三钴 | Co3O4 | 3N-4N |
铁酸钴 | CoFe2O4 | 3N-3N5 |
氧化亚钴 | CoO | 2N5-4N |
氧化铬 | Cr2O3 | 2N-5N |
氧化铯 | Cs2O | 3N-5N |
氧化亚铜 | Cu2O | 3N-4N |
氧化铜 | CuO | 2N7-4N |
氧化镝 | Dy2O3 | 3N-5N |
氧化铒 | Er2O3 | 2N-5N |
氧化铕 | Eu2O3 | 2N-5N |
钛酸铕 | EuTiO3 | 3N |
三氧化二铁 | Fe2O3 | 2N-5N |
四氧化三铁 | Fe3O4 | 2N-5N |
掺氟氧化锡 | FTO | 4N |
氧化镓 | Ga2O3 | 2N-5N |
氧化钆 | Gd2O3 | 2N-5N |
二氧化锗 | GeO2 | 3N-5N |
氧化锌镓 | GZO | 3N-4N |
羟基磷灰石 | HAP / Ca10(PO4)6(OH)2 | 3N |
二氧化铪 | HfO2 | 2N-5N |
氧化钬 | Ho2O3 | 2N-5N |
氧化铟铝锌 | IAZO | 4N |
氧化铟镓锌 | IGZO | 3N-4N |
氧化铟 | In2O3 | 2N-5N |
氧化铱 | IrO2 | 2N-5N |
氧化铟锡 | ITO | 4N-5N |
氧化铟钨 | IWO | 3N-4N |
氧化铟锌 | IZO | 4N-5N |
氧化钾 | K2O | 3N |
氧化镧 | La2O3 | 2N-5N |
钛酸镧 | La2Ti2O7 | 3N-4N |
钨酸镧 | La2WO6 | 3N |
铝酸镧 | LaAlO3 | 3N |
锰酸镧 | LaMnO3 | 3N-3N5 |
铌酸镧 | LaNbO4 | 2N-5N |
氧化锂 | Li2O | 3N-5N |
磷酸锂 | Li3PO4 | 3N-4N |
钛酸锂 | Li4Ti5O12 | 3N-4N |
磷酸锗铝锂 | LiAlGePO4 | 3N |
钴酸锂 | LiCoO2 | 3N-4N |
磷酸铁锂 | LiFePO4 | 3N-4N |
锰酸锂 | LiMn2O4 | 3N-3N5 |
铌酸锂 | LiNbO3 | 3N-3N5 |
钽酸锂 | LiTaO3 | 3N-4N |
钒酸锂 | LiV3O8 | 3N |
钛酸锂镧 | LLT / Li3La2Ti3O12 | 4N |
氧化镥 | Lu2O3 | 2N-5N |
氧化镁 | MgO | 2N-5N |
一氧化锰 | MnO | 2N-5N |
二氧化锰 | MnO2 | 3N-4N |
二氧化钼 | MoO2 | 3N |
三氧化钼 | MoO3 | 2N-5N |
五氧化二铌 | Nb2O5 | 2N-5N |
钛酸铌 | NbTiO3 | 3N5-4N |
铜酸钕 | Nd2CuO4 | 3N |
氧化钕 | Nd2O3 | 2N-5N |
铝酸钕 | NdAlO3 | 3N |
镍酸钕 | NdNiO3 | 3N |
铁酸镍 | NiFe2O4 | 3N |
氧化镍 | NiO | 2N-5N |
氧化锇 | OsO2 | 3N-5N |
氧化铅 | PbO | 2N-5N |
钛酸铅 | PbTiO3 | 3N-3N5 |
锆酸铅 | PbZrO3 | 2N7-4N |
氧化钯 | PdO | 2N-5N |
氧化镨 | Pr6O11 | 2N-5N |
二氧化铂 | PtO2 | 2N-5N |
钛锆酸铅 | PZT | 3N-4N |
氧化铷 | Rb2O | 2N-5N |
二氧化铼 | ReO2 | 2N-5N |
氧化铑 | Rh2O3 | 2N-3N |
氧化钌 | RuO2 | 2N-5N |
氧化锑 | Sb2O3 | 2N-5N |
氧化钪 | Sc2O3 | 2N-5N |
二氧化硒 | SeO2 | 2N-5N |
一氧化硅 | SiO | 3N-5N |
二氧化硅 | SiO2 | 3N-5N |
氧化钐 | Sm2O3 | 2N-5N |
氧化亚锡 | SnO | 2N-5N |
二氧化锡 | SnO2 | 2N-5N |
铝酸锶 | Sr3Al2O6 | 3N-4N |
钴酸锶 | SrCoO3 | 3N-4N |
锰酸锶 | SrMnO3 | 3N |
钼酸锶 | SrMoO4 | 3N-3N5 |
铌酸锶 | SrNbO3 | 3N |
氧化锶 | SrO | 3N-5N |
钌酸锶 | SrRuO3 | 4N |
锡酸锶 | SrSnO3 | 3N |
钛酸锶 | SrTiO3 | 3N-4N |
钒酸锶 | SrVO3 | 3N |
锆酸锶 | SrZrO3 | 3N-5N |
五氧化二钽 | Ta2O5 | 2N-5N |
氧化铽 | Tb4O7 | 2N-5N |
二氧化碲 | TeO2 | 3N-5N |
三氧化二钛 | Ti2O3 | 2N-5N |
五氧化三钛 | Ti3O5 | 2N-5N |
七氧化四钛 | Ti4O7 | 2N5-4N |
一氧化钛 | TiO | 2N-5N |
二氧化钛 | TiO2 | 2N-5N |
氧化铊 | Tl2O3 | 3N-5N |
氧化铥 | Tm2O3 | 2N-5N |
铥铁石榴石 | Tm3Fe5O12 | 3N5 |
氧化锌锡 | TZO | 3N-3N8 |
三氧化二钒 | V2O3 | 2N-5N |
五氧化二钒 | V2O5 | 3N-4N |
二氧化钒 | VO2 | 3N-4N |
三氧化钨 | WO3 | 3N-5N |
氧化钇 | Y2O3 | 2N-5N |
氧化镱 | Yb2O3 | 2N-5N |
钇铁石榴石 | YIG / Y3Fe5O12 | 3N-4N |
氧化钇锆 | YSZ | 3N-4N |
钛酸钇 | YTiO3 | 4N |
氧化锌 | ZnO | 2N-5N |
氧化锆 | ZrO2 | 3N-5N |