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氧化物靶材

       氧化物靶材是一类性能优异的溅射镀膜材料,广泛应用于半导体、光电子、光学镀膜、显示技术、新能源及传感器等高科技领域。其主要成分是金属氧化物,常见种类包括氧化铝(Al₂O₃)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡(ITO)、氧化镓(Ga₂O₃)、氧化钛(TiO₂)等。这些材料因其卓越的光学、电学及化学稳定性,在薄膜制备和微电子器件制造中具有不可替代的作用。

       氧化物靶材通常采用高纯度原材料,通过先进的陶瓷烧结或等离子喷涂工艺制备,以确保其高密度、低孔隙率和均匀的微观结构,从而提升溅射镀膜过程中的稳定性和膜层质量。特别是在磁控溅射、电子束蒸发、脉冲激光沉积(PLD)等物理气相沉积(PVD)技术中,氧化物靶材可实现高效的薄膜沉积,形成具有良好导电性、透明性或高折射率的功能薄膜,广泛应用于触控屏、太阳能电池、智能玻璃、光学滤波器、高速电子器件等领域。

       根据不同的应用需求,氧化物靶材可提供多种规格、形状及纯度选择,包括圆形、矩形、环形等不同尺寸,纯度可达99%-99.999%。同时,还可根据客户需求定制特定配方,如掺杂或复合氧化物靶材,以优化薄膜性能。高品质的氧化物靶材能够确保溅射过程中稳定的沉积速率,提高膜层均匀性,并提升器件的整体性能和使用寿命。

 

氧化物靶材产品列表:

名称 化学式 纯度
氧化银 Ag2O 2N-5N
氧化铝 Al2O3 2N-5N
氧化砷 As2O3 3N-5N
氧化锡锑 ATO 3N-4N
氧化金 Au2O3 3N-5N
氧化锌铝 AZO 3N-4N
氧化硼 B2O3 2N-5N
铁酸钡 BaFe12O19 3N-4N
铌酸钡 BaNb2O6 3N5-5N
氧化钡 BaO 3N-5N
钛酸钡 BaTiO3 2N-4N
锆酸钡 BaZrO3 3N-3N5
氧化铍 BeO 3N-5N
硒氧化铋 Bi2O2Se 3N
氧化铋 Bi2O3 3N-5N
铋铁石榴石 Bi3Fe5O12 / BiIG 4N
钛酸铋 Bi4Ti3O12 3N
铁酸铋 BiFeO3 3N-4N
钛酸锶钡 BST / BaSrTiO3 2N-5N
锰酸钙 CaMnO3 3N
氧化钙 CaO 2N-5N
钛酸钙 CaTiO3 3N
锆酸钙 CaZrO3 2N-5N
氧化镉 CdO 2N-5N
氧化铈 CeO2 2N-5N
三氧化二钴 Co2O3 3N-4N
四氧化三钴 Co3O4 3N-4N
铁酸钴 CoFe2O4 3N-3N5
氧化亚钴 CoO 2N5-4N
氧化铬 Cr2O3 2N-5N
氧化铯 Cs2O 3N-5N
氧化亚铜 Cu2O 3N-4N
氧化铜 CuO 2N7-4N
氧化镝 Dy2O3 3N-5N
氧化铒 Er2O3 2N-5N
氧化铕 Eu2O3 2N-5N
钛酸铕 EuTiO3 3N
三氧化二铁 Fe2O3 2N-5N
四氧化三铁 Fe3O4 2N-5N
掺氟氧化锡 FTO 4N
氧化镓 Ga2O3 2N-5N
氧化钆 Gd2O3 2N-5N
二氧化锗 GeO2 3N-5N
氧化锌镓 GZO 3N-4N
羟基磷灰石 HAP / Ca10(PO4)6(OH)2 3N
二氧化铪 HfO2 2N-5N
氧化钬 Ho2O3 2N-5N
氧化铟铝锌 IAZO 4N
氧化铟镓锌 IGZO 3N-4N
氧化铟 In2O3 2N-5N
氧化铱 IrO2 2N-5N
氧化铟锡 ITO 4N-5N
氧化铟钨 IWO 3N-4N
氧化铟锌 IZO 4N-5N
氧化钾 K2O 3N
氧化镧 La2O3 2N-5N
钛酸镧 La2Ti2O7 3N-4N
钨酸镧 La2WO6 3N
铝酸镧 LaAlO3 3N
锰酸镧 LaMnO3 3N-3N5
铌酸镧 LaNbO4 2N-5N
氧化锂 Li2O 3N-5N
磷酸锂 Li3PO4 3N-4N
钛酸锂 Li4Ti5O12 3N-4N
磷酸锗铝锂 LiAlGePO4 3N
钴酸锂 LiCoO2 3N-4N
磷酸铁锂 LiFePO4 3N-4N
锰酸锂 LiMn2O4 3N-3N5
铌酸锂 LiNbO3 3N-3N5
钽酸锂 LiTaO3 3N-4N
钒酸锂 LiV3O8 3N
钛酸锂镧 LLT / Li3La2Ti3O12 4N
氧化镥 Lu2O3 2N-5N
氧化镁 MgO 2N-5N
一氧化锰 MnO 2N-5N
二氧化锰 MnO2 3N-4N
二氧化钼 MoO2 3N
三氧化钼 MoO3 2N-5N
五氧化二铌 Nb2O5 2N-5N
钛酸铌 NbTiO3 3N5-4N
铜酸钕 Nd2CuO4 3N
氧化钕 Nd2O3 2N-5N
铝酸钕 NdAlO3 3N
镍酸钕 NdNiO3 3N
铁酸镍 NiFe2O4 3N
氧化镍 NiO 2N-5N
氧化锇 OsO2 3N-5N
氧化铅 PbO 2N-5N
钛酸铅 PbTiO3 3N-3N5
锆酸铅 PbZrO3 2N7-4N
氧化钯 PdO 2N-5N
氧化镨 Pr6O11 2N-5N
二氧化铂 PtO2 2N-5N
钛锆酸铅 PZT 3N-4N
氧化铷 Rb2O 2N-5N
二氧化铼 ReO2 2N-5N
氧化铑 Rh2O3 2N-3N
氧化钌 RuO2 2N-5N
氧化锑 Sb2O3 2N-5N
氧化钪 Sc2O3 2N-5N
二氧化硒 SeO2 2N-5N
一氧化硅 SiO 3N-5N
二氧化硅 SiO2 3N-5N
氧化钐 Sm2O3 2N-5N
氧化亚锡 SnO 2N-5N
二氧化锡 SnO2 2N-5N
铝酸锶 Sr3Al2O6 3N-4N
钴酸锶 SrCoO3 3N-4N
锰酸锶 SrMnO3 3N
钼酸锶 SrMoO4 3N-3N5
铌酸锶 SrNbO3 3N
氧化锶 SrO 3N-5N
钌酸锶 SrRuO3 4N
锡酸锶 SrSnO3 3N
钛酸锶 SrTiO3 3N-4N
钒酸锶 SrVO3 3N
锆酸锶 SrZrO3 3N-5N
五氧化二钽 Ta2O5 2N-5N
氧化铽 Tb4O7 2N-5N
二氧化碲 TeO2 3N-5N
三氧化二钛 Ti2O3 2N-5N
五氧化三钛 Ti3O5 2N-5N
七氧化四钛 Ti4O7 2N5-4N
一氧化钛 TiO 2N-5N
二氧化钛 TiO2 2N-5N
氧化铊 Tl2O3 3N-5N
氧化铥 Tm2O3 2N-5N
铥铁石榴石 Tm3Fe5O12 3N5
氧化锌锡 TZO 3N-3N8
三氧化二钒 V2O3 2N-5N
五氧化二钒 V2O5 3N-4N
二氧化钒 VO2 3N-4N
三氧化钨 WO3 3N-5N
氧化钇 Y2O3 2N-5N
氧化镱 Yb2O3 2N-5N
钇铁石榴石 YIG / Y3Fe5O12 3N-4N
氧化钇锆 YSZ 3N-4N
钛酸钇 YTiO3 4N
氧化锌 ZnO 2N-5N
氧化锆 ZrO2 3N-5N